>> 特徴
1.
プロ−ブ(探針)の形状が力学でいう片持ち梁(Cantilever)の構造を持ち、最も一般的に使用されているタイプ。横型タイプとも言われています。
2.
多段式のプローブ(探針)の配置が可能です。
3.
多数個チップの同時測定に優れています。
4.
パッド(電極)に対する位置精度が高く平行度も優れています。
>> 特徴
1.
プローブの形状が垂直型。
2.
高集積化・高速化するデバイステストに優れています。
3.
多数個チップの同時測定に優れています。
4.
ウエハレベルバーンインテスト(ウエハテスト時に高温処理テストを同時に実施すること)への対応に優れています。
>> 特徴
1.
プローブの形状が垂直型でスプリング機能を有しています。
2.
半導体製造工程の後工程でウエハテスト以外の領域でも使用されます。
3.
パッケージングのテストに対応可能です。
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